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解決方案

The solution

工藝服務(wù)

TGV3.0通孔工藝服務(wù)

n 通孔、盲孔、盲槽、微柱、腔體、喇叭孔等精細(xì)三維微結(jié)構(gòu)

n 適用于多種材質(zhì),包括石英玻璃、無(wú)堿玻璃、硼硅玻璃、高鋁玻璃和藍(lán)寶石等

n 厚度100~2000μm(特殊尺寸可定制),最大尺寸可支持12寸晶圓

n 最小孔徑10μm,超高深徑比 ≤ 50:1,通孔錐度范圍可調(diào),無(wú)崩邊、裂紋、隱裂等缺陷

圖層 0.png

深孔實(shí)心金屬化工藝服務(wù)

n Ti/Cu種子層,適用表面金屬化或表面和通孔同時(shí)金屬化

n 表面光潔、均勻、致密、附著力強(qiáng)

n 孔內(nèi)壁覆蓋性好,銅柱密實(shí),孔徑≥10μm,深徑比≤50:1

n 膜層均勻性8寸片≤5% ,6寸片≤3%

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研磨拋光工藝服務(wù)

n 玻璃雙拋以及敷銅玻璃基板的減薄拋光

n 基板厚度200~700μm,尺寸2~8inch

n TTV≤5μm,TIR≤5μm,Ra≤1nm,崩邊≤10μm,翹曲≤50μm 

n 拋光完成之后銅柱表面與玻璃表面臺(tái)階差≤0.5μm

圖層 0.png

表面布線工藝服務(wù)

n 多種導(dǎo)電金屬可選,包含Ti、TiW、Au、NiCr、Cu、Pt等,可電鍍加厚

n 基板圖形化:適用基板尺寸2~8inch,,光刻膠厚度1~10μm線寬/線間距≥10μm,圖形精度±1μm

n 對(duì)帶有導(dǎo)電層的基片進(jìn)行帶膠電鍍,金層厚度為0.1~3μm

n 可RDL多層再布線

圖片12.png

激光精密劃片服務(wù)

n 隱形切割:可切割最大尺寸12inch;適用厚度0.1~2mm

n 適用于多種基板材料,包括石英玻璃、無(wú)堿玻璃、高硼硅玻璃、普通玻璃、光敏玻璃等透明基板

n 崩邊≤2μm,切割后邊緣無(wú)裂紋

n 加工精度高±3μm,刀口窄≤10μm

圖層 0.png

高精度尺寸測(cè)量服務(wù)

n 囊括了光學(xué)顯微鏡、SEM、輪廓測(cè)量?jī)x/表面粗糙度計(jì)等功能,特點(diǎn)擴(kuò)大觀察/形狀分析系統(tǒng)

n 高度測(cè)量重復(fù)精度≤0.05μm,準(zhǔn)確度±0.2μm

n 寬度測(cè)量重復(fù)精度≤0.1μm,準(zhǔn)確度±2%

n 表面Ra測(cè)量重復(fù)精度≤0.08nm,可測(cè)量晶圓最大尺寸8inch


 


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