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技術(shù)優(yōu)勢(shì)

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1發(fā)明了一可光刻玻璃介電損耗控制方法。建立中和應(yīng)、制效應(yīng)穩(wěn)定效應(yīng)與電損耗的協(xié)關(guān)系,實(shí)現(xiàn)了可光刻玻璃介電損耗有效小。

2發(fā)明了超快激光精準(zhǔn)誘導(dǎo)玻璃相實(shí)現(xiàn)細(xì)的玻璃通孔形成技術(shù)。玻璃最小孔9μm,通孔密度最大250000 cm-2。

3傳統(tǒng)通孔充深比限制,實(shí)現(xiàn)最大深達(dá)50:1的超高深比玻璃通孔實(shí)心金化,解號(hào)連續(xù)問(wèn)題,攻克了TGV工程化難題。


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