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玻璃通孔(TGV)為硅通孔(TSV)有效補(bǔ)充,AI+Chiplet趨勢(shì)下大有可為

報(bào)告出品方:東方財(cái)富證券

以下為報(bào)告原文節(jié)選---

1.先進(jìn)封裝方興未艾,玻璃通孔工藝(TGV)蓄勢(shì)待發(fā)

1.1 摩爾定律日漸放緩,先進(jìn)封裝另辟蹊徑技術(shù)及成本因素推動(dòng)芯片產(chǎn)業(yè)邁入后摩爾時(shí)代。從 1987 年的 1μm 到 2015年的 14nm 制程,芯片制程迭代一直遵循摩爾定律,即芯片上容納的晶體管數(shù)目每 18 到 24 個(gè)月增加一倍。但 2015 年后,芯片制程發(fā)展進(jìn)入瓶頸期,7nm、5nm 制程的芯片量產(chǎn)進(jìn)度均落后于預(yù)期。一方面,芯片制程工藝已接近物理尺寸的極限 1nm,量子隧穿效應(yīng)對(duì)晶體管功能造成很大削弱,另一方面,建設(shè)新一代制程晶圓廠的成本水漲船高,據(jù) DIGITIMES Research,月產(chǎn) 5 萬片的 5nm晶圓廠投資高達(dá) 140 億美元。且全球領(lǐng)先的晶圓代工廠臺(tái)積電 3nm 制程芯片量產(chǎn)遇阻,2nm 制程芯片量產(chǎn)推遲至 2024 年后,芯片產(chǎn)業(yè)邁入了后摩爾時(shí)代。

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先進(jìn)封裝已經(jīng)成為后摩爾時(shí)代集成電路技術(shù)發(fā)展的一條重要路徑。后摩爾時(shí)代,芯片的發(fā)展逐漸演化出了不同的技術(shù)方向。其中“More Moore”(深度摩爾)方向是研發(fā)新方法沿著摩爾定律的道路繼續(xù)向前推進(jìn),不斷縮小芯片制程。另一方向則是“More than Moore”(超越摩爾),發(fā)展摩爾定律演進(jìn)過程中未開拓的技術(shù)方向,先進(jìn)封裝便是其中之一,其可以實(shí)現(xiàn)更高的 I/O 密度、更快的信號(hào)傳輸速度和更好的電熱性能,從而提高芯片的性能和功能。并且,先進(jìn)封裝技術(shù)還可以降低芯片的功耗和體積,提升芯片的可靠性和生產(chǎn)效率。

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先進(jìn)封裝分兩大類型:XY 平面延伸及 Z 軸垂直堆疊。先進(jìn)封裝的定義是采用了先進(jìn)的設(shè)計(jì)思路和先進(jìn)的集成工藝,對(duì)芯片進(jìn)行封裝級(jí)重構(gòu),并且能有效提系統(tǒng)高功能密度的封裝。先進(jìn)封裝具有如下特點(diǎn):①不采用傳統(tǒng)的封裝工藝,比如無需 Bonding Wire(半導(dǎo)體鍵合引線);②封裝集成度高,封裝體積。虎蹆(nèi)部互聯(lián)短,系統(tǒng)性能得到提升;④單位體積內(nèi)集成更多功能單元,有效提升系統(tǒng)功能密度。目前先進(jìn)封裝分為兩大類:①基于 XY 平面延伸的先進(jìn)封裝技術(shù),主要通過 RDL(ReDistribution Layer,重布線層工藝)進(jìn)行信號(hào)的延伸和互連;② 基于 Z 軸延伸的先進(jìn)封裝技術(shù),主要是通過 TSV(Through Silicon Via,硅通孔)進(jìn)行信號(hào)延伸和互連。

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TSV 技術(shù)實(shí)現(xiàn) Z 軸電氣延伸和互連。通過 TSV 技術(shù),可以將多個(gè)芯片進(jìn)行垂直堆疊并互連。按照集成類型的不同分為 2.5D TSV 和 3D TSV,2.5D TSV 指的是位于硅轉(zhuǎn)接板(Silicon Inteposer)上的 TSV,3D TSV 是指貫穿芯片體之中,連接上下層芯片的 TSV。在 3D TSV 中,芯片相互靠近,所以延遲會(huì)更少,且互連長(zhǎng)度縮短,能減少相關(guān)寄生效應(yīng),使器件以更高的頻率運(yùn)行,從而轉(zhuǎn)化為性能改進(jìn),并更大程度的降低成本。TSV 的尺寸范圍比較大,大超過 100um,小的小于 1um。隨著工藝水平提升,TSV 可以越做越小,密度越來越大,目前最先進(jìn)的工藝,可在 1 平方毫米硅片上制作 10 萬~100 萬個(gè) TSV。

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1.2 TGV 是對(duì) TSV 的升級(jí)

TSV 技術(shù)仍有不完善,TGV 技術(shù)或?yàn)樘娲。硅基轉(zhuǎn)接板 2.5D 集成技術(shù)作為先進(jìn)系統(tǒng)集成技術(shù),近年來得到了迅猛的發(fā)展。但硅基轉(zhuǎn)接板存在兩個(gè)主要問題:①成本高,TSV 制作采用硅刻蝕工藝,隨后硅通孔需要氧化絕緣層、薄晶圓的拿持等技術(shù);②電學(xué)性能差,硅材料屬于半導(dǎo)體材料,傳輸線在傳輸信號(hào)時(shí),信號(hào)與襯底材料有較強(qiáng)的電磁耦合效應(yīng),襯底中產(chǎn)生渦流現(xiàn)象,造成信號(hào)完整性較差(插損、串?dāng)_等)。作為一種可能替代硅基轉(zhuǎn)接板的材料,TGV(Through Glass Via,玻璃通孔)轉(zhuǎn)接板成為半導(dǎo)體企業(yè)和科研院所的研究熱點(diǎn)。

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相較硅基轉(zhuǎn)接板,玻璃轉(zhuǎn)接板優(yōu)勢(shì)顯著。玻璃轉(zhuǎn)接板有 6 大優(yōu)勢(shì):①低成本:受益于大尺寸超薄面板玻璃易于獲取,以及不需要沉積絕緣層,玻璃轉(zhuǎn)接板的制作成本大約只有硅基轉(zhuǎn)接板的 1/8;②優(yōu)良的高頻電學(xué)特性:玻璃材料是一種絕緣體材料,介電常數(shù)只有硅材料的 1/3 左右,損耗因子比硅材料低2~3 個(gè)數(shù)量級(jí),使得襯底損耗和寄生效應(yīng)大大減小,可以有效提高傳輸信號(hào)的完整性;③大尺寸超薄玻璃襯底易于獲。嚎祵帯⑿裣踝右约靶ぬ氐炔AS商可以量產(chǎn)超大尺寸(大于 2 m×2 m)和超。ㄐ∮ 50μm)的面板玻璃以及超薄柔性玻璃材料;④工藝流程簡(jiǎn)單:不需要在襯底表面及TGV內(nèi)壁沉積絕緣層,且超薄轉(zhuǎn)接板不需要二次減薄;⑤機(jī)械穩(wěn)定性強(qiáng):當(dāng)轉(zhuǎn)接板厚度小于 100μm時(shí),翹曲依然較;⑥應(yīng)用領(lǐng)域廣泛:除了在高頻領(lǐng)域有良好應(yīng)用前景之外,透明、氣密性好、耐腐蝕等性能優(yōu)點(diǎn)使玻璃通孔在光電系統(tǒng)集成領(lǐng)域、MEMS封裝領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用前景。

1.3 TGV 工藝流程:成孔/填孔為兩大核心環(huán)節(jié),技術(shù)難度較高

1.3.1 TGV 成孔技術(shù):方法眾多,各有優(yōu)劣

TGV 成孔技術(shù)需兼顧成本、速度及質(zhì)量要求。制約玻璃通孔技術(shù)發(fā)展的主要困難之一是 TGV 成孔技術(shù),其需要滿足高速、高精度、窄節(jié)距、側(cè)壁光滑、垂直度好以及低成本等一系列要求。多年以來,業(yè)界及學(xué)界許多研究工作都致力于研發(fā)低成本、快速可規(guī);慨a(chǎn)的成孔技術(shù),已形成至少 7 種工藝方法,包括噴砂法、光敏玻璃法、聚焦放電法、等離子刻蝕法、激光燒蝕、電化學(xué)及激光誘導(dǎo)刻蝕法,各具優(yōu)劣。

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激光誘導(dǎo)刻蝕優(yōu)勢(shì)明顯且已獲應(yīng)用,有望在成孔技術(shù)中脫穎而出。激光誘導(dǎo)刻蝕法通過脈沖激光誘導(dǎo)玻璃產(chǎn)生連續(xù)的變性區(qū),變性玻璃在氫氟酸中刻蝕速率較未變性玻璃更快,基于此特性可在 50-500μm 厚的玻璃上形成孔徑大于20μm 的玻璃通孔。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)如下:①成孔質(zhì)量均勻,一致性好,無裂紋;②成孔速率快,可達(dá)到 290 TGV/s;③TGV 形貌可調(diào),由于刻蝕的各向異性,可以通過調(diào)節(jié)激光參數(shù)來控制 TGV 的垂直度和形貌。德國(guó)樂普科(LPKF)公司率先用該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了玻璃通孔制備,首先使用皮秒激光在玻璃上產(chǎn)生變性區(qū)域,其次將激光處理過的玻璃放到氫氟酸溶液中進(jìn)行刻蝕。近兩年,國(guó)內(nèi)廈門云天半導(dǎo)體也成功開發(fā)了先進(jìn) TGV 激光刻蝕技術(shù),實(shí)現(xiàn)深寬比 10:1 的玻璃通孔量產(chǎn)。綜合比較各種玻璃通孔制造技術(shù),激光誘導(dǎo)刻蝕法具有低成本優(yōu)勢(shì),有大規(guī)模應(yīng)用前景。

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1.3.2 TGV 填孔技術(shù):金屬填充或電鍍薄層

類似 TSV 的金屬填充方案可應(yīng)用在 TGV 金屬填充中。首先,制作 TGV 盲孔;其次,通過物理氣相沉積(PVD)的方法在 TGV 盲孔內(nèi)部沉積種子層;再次,自底向上電鍍,實(shí)現(xiàn) TGV 的無縫填充;最后,通過臨時(shí)鍵合,背面研磨、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)露銅,解鍵合,形成 TGV 金屬填實(shí)轉(zhuǎn)接板。國(guó)內(nèi)廈門云天半導(dǎo)體通過試驗(yàn)研究,開發(fā)了完整無缺陷填充的 TGV 通孔技術(shù)。


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除電鍍填實(shí)外,TGV 也可采用孔內(nèi)電鍍薄層實(shí)現(xiàn)電學(xué)連接。研究表明,在電性能方面,薄層電鍍與實(shí)心電鍍的插入損耗差別較小。采用薄層電鍍方案的優(yōu)勢(shì)是在保證電學(xué)性能的同時(shí)可以有效減小電鍍時(shí)間和電鍍成本。通常電鍍填孔需要沉積金屬粘附層如鈦(Ti)、鉻(Cr)等,種子層為銅(Cu),然后進(jìn)行電鍍。

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1.4 TGV 核心設(shè)備及特點(diǎn)

1.4.1 激光誘導(dǎo)刻蝕設(shè)備

激光刻蝕設(shè)備為成孔工藝核心設(shè)備,國(guó)內(nèi)廠商已有覆蓋。德國(guó) LPKF 是全球領(lǐng)先的激光加工解決方案供應(yīng)商,其子公司 Vitrion 提供相關(guān)激光誘導(dǎo)刻蝕設(shè)備,并率先使用激光誘導(dǎo)刻蝕工藝制備 TGV 通孔,孔徑最小為 10μm、深寬比達(dá) 10:1。國(guó)內(nèi)方面大族激光及帝爾激光已有相關(guān)產(chǎn)品覆蓋,在 TGV 孔徑及精度方面不落下風(fēng),其中帝爾激光已于 2022 年 3 月實(shí)現(xiàn)首臺(tái) TGV 激光微孔設(shè)備出貨。此外,德龍激光也具有玻璃激光微孔設(shè)備產(chǎn)品,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)不同材質(zhì)0.1~1mm 厚晶圓玻璃的各種尺寸盲孔、圓錐(通)孔制備。

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1.4.2 電鍍?cè)O(shè)備及電鍍液

電鍍?yōu)樘羁坠に嚭诵,電鍍液體系與TSV相似,由基礎(chǔ)鍍液及添加劑構(gòu)成。

電鍍液基礎(chǔ)鍍液包括基礎(chǔ)鹽和酸兩部分,基礎(chǔ)鹽提供電鍍填充的金屬源,酸增加鍍液導(dǎo)電能力,防止銅離子水解。添加劑則主要為 SPS(聚二硫二乙烷磺酸鈉)、PEG(聚乙二醇)、JGB(健那綠 B)的衍生物。目前應(yīng)用最廣泛的電鍍液是硫酸銅體系,此外還有甲基磺酸銅體系,其具有更高銅離子濃度,進(jìn)而擁有更高的擴(kuò)散速率,可適用于大電流密度電鍍。隨著通孔深寬比越來越高,甲基磺酸銅具有更廣闊的應(yīng)用前景。

高質(zhì)量鍍液為美日德壟斷,國(guó)產(chǎn)替代道阻且長(zhǎng)。陶氏化學(xué)、樂思化學(xué)、安美特、巴斯夫等公司掌握高質(zhì)量的商業(yè)鍍液,利潤(rùn)率高達(dá) 90%,且具體成分屬商業(yè)機(jī)密,無法為國(guó)產(chǎn)沿用。近年來國(guó)內(nèi)的上海新陽、飛凱材料、深圳創(chuàng)智芯聯(lián)公司等也開發(fā)了用于先進(jìn)封裝的互連電鍍液,但還是和國(guó)外存在非常大的差距,大多數(shù)仍舊采用國(guó)外的電鍍液,未來需繼續(xù)加大對(duì)電鍍液的研究,以期追趕上國(guó)外的水平。

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電鍍?cè)O(shè)備同為國(guó)外龍頭壟斷,國(guó)內(nèi)盛美上海初具匹敵實(shí)力。除電鍍液外,電鍍?cè)O(shè)備也是影響 TGV 電鍍質(zhì)量的重要因素。先進(jìn)封裝電鍍?cè)O(shè)備領(lǐng)域,基本處于國(guó)外壟斷狀態(tài),主要的設(shè)備供應(yīng)商有美國(guó)應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體以及日本荏原等。國(guó)內(nèi)企業(yè)中,盛美上海憑借先進(jìn)的技術(shù)以及豐富的產(chǎn)品線,已成為少數(shù)可以和國(guó)外電鍍?cè)O(shè)備廠商競(jìng)爭(zhēng)的公司。盛美上海自成立之初就聚焦銅互連技術(shù),是世界上較早進(jìn)入水平電鍍領(lǐng)域并自主掌握電鍍核心技術(shù)的企業(yè)之一,目前盛美上海自創(chuàng)的電鍍技術(shù)已在前道雙大馬士革和先進(jìn)封裝、3D TSV 以及第三代半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域均實(shí)現(xiàn)了質(zhì)的飛躍。此外,上海新陽、深圳創(chuàng)智芯聯(lián)也進(jìn)行了相關(guān)電鍍?cè)O(shè)備的生產(chǎn)。

2.多領(lǐng)域潛力釋放+傳統(tǒng)工藝替代升級(jí),TGV 未來可期

2.1 市場(chǎng)潛力靜待釋放,競(jìng)爭(zhēng)格局高度集中

先進(jìn)封裝方興未艾,規(guī)模+份額持續(xù)提升。在電子裝置小型化,以及 5G、AI 等對(duì)高速與高效運(yùn)算、高帶寬、低延遲、低功耗等的需求推動(dòng)下,先進(jìn)封裝已成為半導(dǎo)體創(chuàng)新、增強(qiáng)功效和提升成本效益的關(guān)鍵。據(jù) Yole 咨詢公司,全球先進(jìn)封裝市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng),預(yù)計(jì) 2027 年將達(dá)到 652 億美元,6 年復(fù)合增長(zhǎng)率9.73%,其中 TGV/TSV 所屬的 2.5D/3D 工藝市場(chǎng)規(guī)模也將增至約 150 億美元,復(fù)合增長(zhǎng)率超 14%。此外,先進(jìn)封裝市場(chǎng)占比穩(wěn)步提升,2022 年約為 42%,預(yù)計(jì)2027 年將達(dá)到 52%,首次超過主流封裝。

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TGV 襯底格局集中,國(guó)外廠商份額領(lǐng)先。目前,較多 TGV 測(cè)試產(chǎn)品和技術(shù)由國(guó)外廠商掌握,包括美國(guó)康寧(Corning)、德國(guó)樂普科(LPKF)、美國(guó)申泰(Samtec)、日本泰庫尼思科(Tecnisco)和 KISO WAVE 等。Corning、LPKF 和Samtec 為 TGV 襯底行業(yè)龍頭,2020 年全球市占率位居前三,分別達(dá)到25.47%/19.66%/10.68%,CR3 約 56%。國(guó)內(nèi)方面,目前有廈門云天半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)批量供貨,其二期工廠(建筑面積約 24000 平方米,引入 8 寸、12 寸晶圓級(jí)封裝工藝設(shè)備)于 2021 年投產(chǎn)使用,提供 WLP/3DWLCSP/Fan-out 等封裝技術(shù)以及玻璃通孔工藝和集成無源器件(IPD)制造能力。此外,國(guó)內(nèi)沃格光電等企業(yè)也取得不同程度進(jìn)展。

2.2 邏輯芯片:CoWoS 一騎絕塵,核心轉(zhuǎn)接板是替代潛力所在

CoWoS 開啟 2.5D 封裝,核心是通過轉(zhuǎn)接板實(shí)現(xiàn)芯片互連。CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)是臺(tái)積電推出的 2.5D 封裝技術(shù),是把芯片封裝到硅轉(zhuǎn)接板上,并使用硅轉(zhuǎn)接板上的高密度布線進(jìn)行互連,再安裝在封裝基板上。臺(tái)積電2012 年開始量產(chǎn) CoWoS-S(S 表示硅轉(zhuǎn)接板),通過該技術(shù)把多顆芯片封裝到一起,達(dá)到封裝體積小,性能高、功耗低,引腳少的效果。目前,CoWoS 已經(jīng)獲得 NVIDIA、AMD、Google、XilinX、華為海思等高端芯片廠商的支持。

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先是被賽靈思的高端 FPGA“7V2000T”采用,其制程為基于 28 納米 CMOS工藝,配備了四顆 FPGA 邏輯芯片。2014 年開發(fā)的第二代“CoWoS_S”中,硅轉(zhuǎn)接板面積顯著擴(kuò)大,被賽靈思 FPGA“XCVU440”采用,配備三顆 FPGA 邏輯芯片。2016 年臺(tái)積電推出第三代 CoWoS-S,首次實(shí)現(xiàn)高速 DRAM 模塊 HBM 和邏輯芯片混合使用,率先被 NVIDIA 高端 GPU“GP100”采用,其 GPU 芯片和HBM2 混合在一起,HBM 疊層模塊之間通過 TSV 連接。

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新一代 AI 芯片仍采取 CoWoS 封裝,轉(zhuǎn)接板替代或?yàn)?TGV 打開成長(zhǎng)空間。

英偉達(dá)最新的 H100 加速計(jì)算卡仍采用 CoWoS-S 封裝,在硅轉(zhuǎn)接板上實(shí)現(xiàn) 7 組芯片互連,包括中間的 H100 GPU die 及周圍 6 堆 HBM 內(nèi)存。AMD(超威半導(dǎo)體)MI300 采取類似布局,以 CoWoS 工藝在硅轉(zhuǎn)接板上封裝 6 顆 GPU、3 顆CPU 及 8 組 HBM 內(nèi)存。國(guó)內(nèi)方面,壁仞科技 BR100 系列 GPU 也采用 CoWoS-S封裝,將 2 顆計(jì)算芯;ミB,實(shí)現(xiàn)算力的跨越式提升。CoWoS 封裝的核心之一為硅轉(zhuǎn)接板及 TSV 工藝,但其存在成本高和電學(xué)性能差等不足,而玻璃轉(zhuǎn)接板及 TGV 工藝具有低成本、易獲取、高頻電學(xué)特性優(yōu)良等特性,有望作為前者替代品。因此,我們認(rèn)為 TGV 替代 TSV 將成為先進(jìn)封裝核心演進(jìn)方向之一,疊加AI 浪潮之下加速計(jì)算芯片需求高增,TGV 遠(yuǎn)期成長(zhǎng)空間廣闊。

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2.3 LED:MIP 契合 Micro LED 發(fā)展趨勢(shì),玻璃基板充分受益

Micro LED 趨勢(shì)明朗,MIP 封裝優(yōu)勢(shì)明顯。MIP(Micro LED in Package)封裝技術(shù)是一種基于 Micro LED 的新型封裝技術(shù),通過將大面積的整塊顯示面板分開封裝,實(shí)現(xiàn) Micro LED 和分立器件的有機(jī)結(jié)合。其工藝流程是將 Micro LED芯片通過巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)轉(zhuǎn)移到基板上,進(jìn)行封裝后切割成單顆或多合一的小芯片,再將小芯片分光混光,再進(jìn)行貼片工藝、屏體表面覆膜,完成顯示屏的制作。LED 顯示屏封裝至今已經(jīng)發(fā)展成為 SMD(表面貼裝,Surface Mount Devices)、IMD(矩陣式集成封裝,Integrated Matrix Devices)、COB(板上封裝,Chips on Board)、MIP 等多種封裝方式并存的產(chǎn)業(yè)格局。由于不同間距產(chǎn)品采用不同的工藝模式,性價(jià)比有所不同,故多種封裝模式短時(shí)間內(nèi)將持續(xù)共存。從間距逐步減小性價(jià)比逐步提升的趨勢(shì)來看,COB 和 MIP 封裝模式具有明顯優(yōu)勢(shì)。考慮到 LED 直顯技術(shù)進(jìn)入 micro LED 時(shí)代是大勢(shì)所趨,MIP 適用更小的芯片,減小間距和降低成本的空間更大,在未來有望更勝一籌。

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TSV 實(shí)現(xiàn)電氣連接及熱傳導(dǎo),玻璃載板為 MIP 更優(yōu)之選。傳統(tǒng) LED 封裝中已存在 TSV 硅通孔應(yīng)用,其用于實(shí)現(xiàn) LED 芯片及基板兩側(cè)的電氣互連及熱傳導(dǎo)。

然而傳統(tǒng) PCB 載板散熱性弱于玻璃載板,且在芯片焊接中由于熱量密度較高,容易出現(xiàn)翹曲變形的問題,尤其在 Mini/Micro LED 大尺寸應(yīng)用中,多組背光單位拼接過程中易產(chǎn)生拼縫問題。以玻璃材料為 LED 芯片載板,可提升 MIP 封裝可靠性,相較有機(jī)基材有如下優(yōu)勢(shì):①優(yōu)良的表面平整度及低翹曲特性,為小間距巨量芯片封裝提供了可能。②超低的熱膨脹系數(shù),與芯片熱膨脹性能更匹配,提升封裝質(zhì)量。③采用玻璃載板超精密線路加工工藝,實(shí)現(xiàn)低至 10um 的極低線寬線距,提高布線密度。以上特性規(guī)避了 COB 的超高良率要求及燈板極高的技術(shù)難度,同時(shí)玻璃材料解決了有機(jī)基材平整性差,固晶難度大,小間距實(shí)現(xiàn)難度大等問題,從而降低 Micro LED 實(shí)現(xiàn)成本。

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國(guó)內(nèi)沃格光電率先發(fā)力,Micro LED 載板產(chǎn)品均有序推進(jìn)。沃格光電基于多年玻璃研發(fā)經(jīng)驗(yàn),相繼開發(fā)出了玻璃基直顯模組板、玻璃基 Micro LED 芯片載板等產(chǎn)品。其中玻璃基直顯模組板依靠沃格領(lǐng)先的 TGV (玻璃通孔) 技術(shù)及高精密線路加工技術(shù),可實(shí)現(xiàn) 4 層線路,線寬線距低至 10um 且定位偏差精度可滿足小間距產(chǎn)品要求。而玻璃基 Micro LED 芯片載板同樣基于其領(lǐng)先的玻璃薄化以及 TGV(玻璃通孔)技術(shù),像素間距進(jìn)一步下探,為小間距 RGB 芯片封裝提供性能可靠的載板,PAD 尺寸約為 25um,最窄溝槽約 10um,是目前已知的最小封裝尺寸,能大幅降低 LED 芯片成本以及直顯模組整體成本。沃格光電目標(biāo)是未來1到2年內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)玻璃基Micro直顯在顯示產(chǎn)品的規(guī)模量產(chǎn)化應(yīng)用,以此推動(dòng) Mini 背光和 Micro 直顯整個(gè)產(chǎn)業(yè)技術(shù)迭代升級(jí)進(jìn)程。

消費(fèi)級(jí)應(yīng)用滲透明顯提速,Micro LED 或已位于爆發(fā)前夜。據(jù) Yole 咨詢公司,未來 3-5 年將成為 Micro LED 走向消費(fèi)級(jí)應(yīng)用的關(guān)鍵時(shí)期,其將首先在VR/AR、智能手表以及大屏顯示領(lǐng)域開始量產(chǎn)應(yīng)用:VR/AR 方面,Micro LED 2022年從單色眼鏡開始發(fā)展,將在 2025 年進(jìn)入消費(fèi)級(jí)應(yīng)用;智能手表方面,Micro LED 也將于 2024 年開始進(jìn)入快速應(yīng)用發(fā)展階段;大屏顯示方面,Micro LED 預(yù)計(jì)將于 2025 年進(jìn)入高端消費(fèi)級(jí)電視市場(chǎng)。據(jù)高工產(chǎn)業(yè)研究院統(tǒng)計(jì),今年已上市超過 20 款搭載 Micro LED 的 AR 產(chǎn)品。據(jù) DSCC(Display Supply Chain Consultants)咨詢公司,Micro LED 屏幕出貨量未來將成倍增長(zhǎng),由 2023 的45 萬片/年增長(zhǎng)至 2027 年的 1747 萬片,復(fù)合增長(zhǎng)率近 150%;市場(chǎng)規(guī)模則由 0.44億美元增至約 14 億美元,復(fù)合增長(zhǎng)率近 140%。

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2.4 MEMS:TGV 及玻璃基應(yīng)用日趨成熟,需求擴(kuò)張更添成長(zhǎng)動(dòng)力

MEMS(Micro Electromechanical System),即微機(jī)電系統(tǒng),是將具有不同功能的微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)、信號(hào)處理與控制電路、通訊/接口單元在硅晶圓上制作而成,是微型機(jī)械加工工藝和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合的產(chǎn)品。據(jù)Yole 咨詢公司,加速度計(jì)、慣性傳感組合、陀螺儀、和壓力傳感器占比較大,是 MEMS 傳感器的主要產(chǎn)品類別。

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TGV 較 TSV 優(yōu)勢(shì)突出,眾多學(xué)界研究聚焦 MEMS 封裝。由于玻璃轉(zhuǎn)接板相比于硅轉(zhuǎn)接板的明顯優(yōu)勢(shì),也被廣泛應(yīng)用于 MEMS 封裝中。2013 年,有學(xué)界研究已利用玻璃通孔技術(shù)實(shí)現(xiàn)射頻 MEMS 器件的晶圓級(jí)封裝,通過該方案制作的射頻 MEMS 器件在 40 GHz 以內(nèi)具有穩(wěn)定的射頻性能。2016 年,國(guó)內(nèi)學(xué)者提出一種基于 TGV 轉(zhuǎn)接板的慣性 MEMS 器件晶圓級(jí)封裝方案,在 400μm 厚的玻璃基板上制作 TGV 通孔,后續(xù)采用濺射鋁的金屬化方案,最終實(shí)現(xiàn) MEMS 加速計(jì)的封裝制作。2018 年,磁輔助組裝方式也被用于填充玻璃通孔及 MEMS 器件封裝。

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MEMS 設(shè)計(jì)制造已有玻璃基材及 TGV 技術(shù)導(dǎo)入。早在 2018 年,康寧和專注于數(shù)字微動(dòng)開關(guān)(DMS)的美國(guó)公司 Menlo Micro 率先宣布成功運(yùn)用 TGV 技術(shù)實(shí)現(xiàn)高性能射頻和功率產(chǎn)品的超小型晶圓級(jí)封裝。與傳統(tǒng)的引線鍵合封裝技術(shù)相比,TGV 使其產(chǎn)品尺寸縮小了 60%以上、封裝寄生效應(yīng)降低 75%以上,適用于電池管理、家庭自動(dòng)化、電動(dòng)汽車、軍事和專業(yè)無線電、5G 基站和物聯(lián)網(wǎng)等不同領(lǐng)域。全球第一大玻璃晶圓切割拋光廠商德國(guó)計(jì)劃光學(xué)(Plan Optik),多年深耕 MEMS 封裝玻璃晶圓,客戶包括全球 MEMS 龍頭意法半導(dǎo)體、博世、英飛凌等。群創(chuàng)光電也研發(fā)了 MEMS 制程與 TFT 驅(qū)動(dòng)技術(shù)整合的新型傳感器,將 MEMS on CMOS 需要的大面積區(qū)域、驅(qū)動(dòng)電路與多工器使用 TFT Glass 電路設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)。

此外,國(guó)內(nèi)賽微電子子公司 silex microsystems 將 TGV 工藝導(dǎo)入 MEMS 代工,實(shí)現(xiàn)適用于射頻和其他低電容應(yīng)用的玻璃晶圓封裝。

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